원익IPS, '증착·식각·열처리' 풀라인업 무기…반도체 전공정 리더로

국내 반도체 전(前)공정 장비 시장에서 원익IPS가 ‘풀라인업’ 경쟁력을 앞세워 시장 석권에 나섰다. ALD(원자층증착)나 LPCVD(저압화학기상증착) 등 특정 단일 공정에 특화된 주성엔지니어링, 유진테크와 달리 원익IPS는 전공정 핵심 영역 전반을 아우르는 토탈 솔루션을 구축했다. 증착(CVD·ALD)부터 플라즈마 식각(Etch), 고온 열처리(Therm...