ended9월 8일· 1 sources
삼성전자, ASML과 12인치 포토마스크 개발…차세대 EUV 협력 확대
Why it matters
삼성전자가 네덜란드 반도체 노광장비 기업 ASML이 주도하는 '대형 마스크 컨소시엄(Large Size Mask Consortium)'에 참여해 차세대 12인치 포토마스크를 공동 개발한다. 기존 6인치 포토마스크의 크기를 두 배로 확대해 하이-NA 극자외선(High NA EUV) 장비의 생산성을 높이고 첨단 메모리와 파운드리 미세공정 경쟁력을 강화한다는 구...
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